近日,随着上海复工复产的快速推进,东方晶源积极组织设备交付工作,旗下电子束缺陷检测(EBI)和关键尺寸量测(CD-SEM)两台设备已顺利交付上海客户。此次出机,是东方晶源继电子束量测检测设备出机国内知名晶圆代工厂后,再次赢得头部客户的青睐和认可。同时,标志着东方晶源硬件产品开启批量交付模式。

本次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515,面向300mm硅片工艺制程,除具备该系列产品惯有的高灵敏度电性和物理缺陷检测、有效解决28nm及以上良率问题、自主创新的高性能缺陷检测引擎(DNA数据库)、基于深度学习的缺陷自动分类(ADC)算法等产品特点外,东方晶源研发团队还在上一代产品的基础上优化升级,使SEpA-i515具有更高的TPT和更优的平台设计,设备运行效率、性能指标均有大幅提升。值得一提的是,上一代产品SEpA-i505 已经在国内头部晶圆代工厂量产一年,产品性能及稳定性得到充分验证。

另一台交付的产品为关键尺寸量测设备,型号为SEpA-c410,面向300mm硅片工艺制程,通过先进的电子束成像系统和高速硅片传输方案,搭配精准的量测算法,可实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。该设备自去年6月底进入国内头部晶圆代工厂以来产线验证进展顺利,阶段性验收成果获得客户认可。

东方晶源电子束量测检测设备,依托所承担的国家科技重大专项(02专项)——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目,经过数年攻坚克难,突破多项核心关键技术,从零部件到整机设计制造,均具有完全自主知识产权,填补国内空白。目前,两款设备开启批量交付模式,产业化进程取得丰硕成果。

此次设备交付的客户所在地上海在我国集成电路产业具有举足轻重的地位,目前已经成为国内集成电路产业综合水平高、产业链完整、产业生态环境好的集聚地之一。东方晶源十分看重在上海的发展和布局,继计算光刻软件(OPC)进入上海头部晶圆代工企业后,硬件产品正式登陆上海。为更好的服务以上海为核心的长三角客户,东方晶源已于去年8月份在上海设立子公司,形成北京总部、深圳子公司和上海子公司为核心的三地布局,推动企业贴近产业前沿高地,为集成电路制造企业带去优质的产品和服务,更好的与上下游企业携手推动产业发展的同时,构筑企业自身竞争壁垒。

东方晶源自成立以来,专注于芯片制造关键环节的良率控制和提升领域,形成以计算光刻软件(OPC)、电子束量测检测装备硬件为核心的产品矩阵,并向更多相关领域积极布局。硬件方面,东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM(Defect Review SEM)的研发工作,进一步夯实在国内电子束检测领域领先的市场地位和核心技术优势。软件方面,光刻工艺严格仿真软件PanSim已经在客户侧进行验证,预计7月底release V1.0版本。未来,东方晶源将立足通用软件平台和检测装备两大领域,寻求横纵向发展机遇,为客户提供更加多样化的产品,向着国内集成电路领域良率管理领导者的目标奋进。